Компания Keithley Instruments расширяет пропускную способность и точность параметрической испытательной системы S530

04.02.2011

Компания Keithley Instruments, представила усовершенствованную линейку параметрических испытательных систем S530 – наиболее экономически эффективного полностью автоматического решения для параметрических испытаний в полупроводниковой промышленности. Добавлены новые мейнфреймы с высокой пропускающей способностью для высокой целостности сигнала; возможность измерения температуры в Кельвинах на карте пробника для большей точности при низкоуровневом сигнале; новые модули аппаратной защиты, которые гарантируют защиту чувствительных приборов системы от высокого напряжения, а также полный спектр улучшенных технических характеристик системы и средств диагностики. Узнать подробную информацию об улучшениях, можно посмотрев онлайн-презентацию Keithley по ссылке keithley.acrobat.com/p20663354/.

Системы серии S530 оптимизированы для параметрического тестирования на производстве, выпускающем широкий ассортимент продукции или в случаях, когда необходимы высокая гибкость приложения и быстрое формирование плана тестирования. Проверенная технология измерений и высокая точность сигнальных путей, на которых основаны S530, обеспечивают лидерство в отрасли по точности и воспроизводимости измерений.

Две мощных конфигурации параметрического тестирования

Доступны две различные конфигурации системы S530: низкотоковая версия для измерения таких характеристик, как утечки перехода, затвора и т.д., и высоковольтная версия, предназначенная для сложных тестов на отказ и испытаний на утечку, необходимых для мощных устройств GaN, SiC и Si LDMOS. Слаботочная версия S530 Low Current System (от двух до восьми каналов SMU) обеспечивает измерения с разрешением до пикоампера и слаботочную защиту контакта пробника. Высоковольтная версия S530 High Voltage System (от трех до семи каналов SMU) включает в себя источник-измеритель (SMU), способный выдавать до 1000 при 20 мА (20 Вт макс.). При соответствующей конфигурации, системы S530 могут применяться во всех измерительных приложениях постоянного тока и C-V измерениях (емкость-напряжение), необходимых при мониторинге в процессе производства, контроля надежности и определения характеристик устройства.

Оптимизирован для сложных условий тестирования

Параметрические испытательные системы S530 предназначены для ускорения и упрощения разработки плат и сценариев тестирования, обеспечивая немедленную обратную связь с инженером в ходе разработки. Например, программное приложение Automated Characterization Suite (ACS) управляющее системой S530, ускоряет разработку проекта позволяя проводить интерактивное тестирование новых сценариев тестирования без ущерба для пропускной способности в полностью автоматическом режиме. ACS также позволяет проводить разработку проектов тестирования и анализ результатов в офф-лайн режиме.

Мощное программное обеспечение

Системы S530 используют программное обеспечение ACS версии 4.3, на которой также работают несколько уже зарекомендовавших себя испытательных систем Keithley, что облегчает переход от лабораторных исследований к производству и уменьшает время на обучение. ACS максимально увеличивает эффективность и гибкость систем S530, объединяя все элементы, необходимые для автоматизированного параметрического тестирования в едином интегрированном пакете.

Проверенная технология

Все модули источников-измерителей (SMU) параметрической испытательной системы S530 основаны на проверенной технологии Keithley, обеспечивающей высокую точность и повторяемость измерений. Встроенные SMU могут служить источниками тока/напряжения или измерять ток/напряжение. В дополнение к точности установки сигнала, они имеют программируемые пределы во всех диапазонах, что позволяет защитить исследуемое устройство и пробник от повреждения или поломки устройства. Каждый SMU одновременно измеряет параметры тока и напряжения, что гарантирует соответствие измеряемых параметров реальным условиям, а не расчетным характеристикам.

Возможность тестирования емкости-напряжения (C-V)

Все системы S530 могут быть оборудованы опциональным высокоскоростным измерителем емкости для C-V измерений до 2 МГц. Этот модуль может измерять емкость до 10пФ на 1 МГц с 3%-ной точностью.

Для более подробной информации о системы параметрического тестирования S530 пройдите по ссылке: www.keithley.com/products/semiconductor/parametrictestsys/

Keithley Instruments
www.keithley.com

О компании: Keithley Instruments