Измерение вольт-фарадных характеристик полупроводниковых приборов — выбор современного бюджетного решения

Современная электрофизика полупроводников немыслима без измерения вольт-фарадных характеристик (ВФХ), или т.н. CV-метрии, что подразумевает измерение емкости как функции от приложенного постоянного напряжения смещения. Именно эти измерения дают возможность быстрого определения базовых параметров слоев полупроводников и диэлектриков, которые затруднительно измерить прямыми методами…
Автор(ы): Шумский И.А.
Номер журнала: КИПиС 2017 № 2
Читать в PDF: Читать