Электронные приборы в микроэлектронике и нанотехнологиях

В настоящем обзоре рассматриваются измерительные приборы, которые с успехом могут использоваться в новых направлениях развития микроэлекроники и нанотехнологиях. Как известно, американский институт инженеров электротехники и электроники IEEE выпустил первый стандарт в области нанотехнологий. В настоящее время в разработке приборов для высокоточных измерений для полупроводникового и микроэлектронного производства лидирует фирма Keithley.
Автор(ы): Афонский А.А., Дьяконов В.П.
Номер журнала: КИПиС 2008 № 5
Читать в PDF: Читать